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          臺式X射線源 工作波長20nm 脈寬7ns 重復頻率10 Hz  2021-09-01  

          激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。

          產品型號
          縱向   橫向
          型號 貨號 操作 名稱
          EUV-B-XRAY B80020087 20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns   [PDF] 工作波長 20nm;脈寬 7 ns;脈沖能量(Xe) 3.5 mJ (4π sr, 2% BW);轉換效率 0.45% ;等離子形狀 ? ~ 300 μm;重復頻率 10 Hz 8-10 weeks
          復制內容純文本
          產品特點

          ● 低殘留

          ● 高EUV能量(3.5 MJ)

          ● 最低耗氣量(氣體脈沖持續時間:<1 ms)

          ● 簡單目標氣體交換

          ● 桌面系統

          技術參數

          參數

          單位

          指標

          產品編號


          EUV-B-XRAY

          工作波長

          nm

          20nm

          脈寬

          ns

          7

          脈沖能量(Xe

          mJ

          3.5(4π sr, 2% BW)

          轉換效率

          %

          0.45

          等離子形狀

          NA

          ? ~ 300 μm

          重復頻率

          HZ

          10


          測試數據展示:

          tc.pngtc_副本.png


          tc1.png

          產品應用

          ● 計量:反射測量、吸收

          ● 光譜學(nexafs)

          ● 光學/傳感器測試

          ● EUV損壞調查

          ● 材料相互作用基礎研究

          ● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)

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